반도체소재부품장비센터

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장비 구축 및 장비 이용

1차년도 장비 4대 구축

- 전자빔증착기, 확산전기로, X선회절기, AFM

2차년도 장비 3대 구축

- 스크린프린터, RF 스퍼터, XPS

3차년도 장비 5대 도입예정

- 급속 열처리전기로, 기판 단면 연마기, 급속전자주사현미경, 태양전지 전기특성 측정기, 태양전지 분광특성 측정기

네트워킹 사업

  • 국내워크샵 6회 개최 및 국내 세미나 5회 참가
  • 국제협력워크샵 3회 개최 및 국제협력 세미나 2화 참가
  • 기술지도 8회 제공(제니컴 외 4개 기업)
  • 기술정보 3건 제공

문의처

  • 주소 : 대전광역시 유성구 동서대로 125 N8동 603호
  • 전화번호 : 042)821-1556
  • 팩스번호 : 042)821-1557
콘텐츠 정보담당자
    • 부서명 : 반도체소재부품장비센터
    • 연락처 : 042-821-1555