반도체소재부품장비센터

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주요업무

표준 6인치 단결정 실리콘 태양전지 제조공정기술 지원
1. Texturing

- 표면 조직화에 의한 빛 수집 증가 및 바사율 감소

2. Emitter 형성

- 기상 확산법으로 P형 실리콘에 N+ 층을 형성

3. BSF의 형성

- P형 웨이퍼 뒷면에 AI을 증착 후 열처리에 의한 P+층 형성

4. 반사방지막 형성

- 태양전지 표면에서 빛 반사 방지를 위해 ITO증착

5. 전극 형성

- 스크린 프린팅 방식으로 전 후면에 Ag Paste로 전극 형성

표준 6인치 단결정 실리콘 태양전지 평가,분석 기술 지원
1. 구조적 특성 분석

- Dual-beam X 선회절기, AFM, SEM, UV현미경, 편광현미경

2. 광학적 특성 분석

- 분광엘립소미터, 저온 광루미네센스 측정 장치

3. 전기적 특성 분석

- 반도체파라미터분석기(HP4155B), LCR 미터, Probe Station, 4-point Probe Analyzer

4. 태양전지 특성분석

- 태양전지 I-V특성 측정장치, 태양장치 분광특성 측정장치.

장비이용방법

한밭대학교 공용장비지원센터 홈페이지(http://hub.hanbat.ac.kr)신청, 접수

담당자 및 연락처

기반구축마련
  • 정보전자부품소재단위공정평가연구소 구축
  • 소장실, 사무실, 및 회의실 확보
  • 소재관 및 공동실험실습관 606호 클린룸 확보
담당자 및 연락처
직위 성명 담당업무 전화 팩스
실장 변창섭 클린룸 총괄 관리 042-821-1583 042-821-1577
팀장 최재린 클린룸 행정 관리 042-821-1556 042-821-1577
콘텐츠 정보담당자
    • 부서명 : 반도체소재부품장비센터
    • 연락처 : 042-821-1555